Заведующий лабораторией:
Шаповал Сергей Юрьевич 
Основная тема: Исследование физических основ и разработка технологии элементной базы СВЧ электроники.
Содержание проводимых исследований:
- Физика сверхвысокочастотной плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса и ее применение в технологии наноэлектроники (совместно с ЭЗНП РАН) для прецизионного травления, осаждения тонких слоев и эпитаксии, включая разработку и изготовление промышленного ЭЦР-плазменного оборудования наноэлектроники;
- Исследование физических основ приборов и интегральных схем на основе широкозонных материалов;
- Транзисторные структуры на полимерных материалах (в сотрудничестве с ИФТТ РАН), создание сухих адгезивов (в сотрудничестве с Манчестерским университетом).
