Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН  

 СТРУКТУРА | ДИРЕКЦИЯ | ЛАБОРАТОРИИ | АСИЦ 

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ





слово,
как прописано:


лаборатория N5

Заведующий лабораторией:
к. х. н. Редькин Аркадий Николаевич
телефон: 8(49652)44205, 44143
arcadii@ipmt-hpm.ac.ru

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур.

Содержание проводимых исследований:

  • Развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур;
  • Развитие технологии получения материалов электроники и микросистемной техники.