Заведующий лабораторией:
Рау Эдуард Иванович 
Основная тема: Сканирующая электронная микроскопия, электронная микротомография, диагностика материалов и приборов микроэлектроники.
Содержание проводимых исследований:
- Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
