 |
| лаборатория N15 |
|---|
| |
|
Статьи - В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Разработка формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения", Известия РАН, сер. Физическая, V75, N9, c.1263, 2011г.
- М.Ю. Барабаненков, В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Разработка методов детектирования сигналов для электронно-оптического in-situ-мониторинга периодических структур", Известия РАН, сер. Физическая, V75, N9, c.1259, 2011г.
- М.Ю.Барабаненков, В.В.Казьмирук, Т.Н.Савицкая, "Разработка метода электрон-оптического in-situ мониторинга периодических структур", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N9, c.35, 2010г.
- В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Погрешности измерений линейных размеров структур при регистрации обратно рассеянных электронов в РЭМ", Известия РАН, сер. Физическая, V74, N7, c.1029, 2010г.
- M.Yu.Barabanenkov, V.V.Kazmiruk, S.Yu.Shapoval, "Method of matrix Riccati equation for nanoshape control of diffraction gratings", Proceedings of SPIE, V7390, N, c.1, 2009г.
- M.Yu.Barabanenkov, V.V.Kazmiruk, "Resonance optical effects and artificial microphotonic electromagnetic materials", ECS Transactions, V23, N1, c.469, 2009г.
- V.V.Kazmiruk, M.Yu.Barabanenkov, "Optimization of e-beam systems for wafer defect inspection and for die-to-database verification", ECS Transactions, V23, N1, c.43, 2009г.
- В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая, "НОВЫЕ ПРИНЦИПЫ СОЗДАНИЯ МНОГОЛУЧЕВЫХ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР", Известия РАН, сер. Физическая, V73, N4, c.485, 2009г.
- В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая, "Определение предельных параметров многолучевых электронно-оптических систем для диагностики полупроводниковых структур", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V10, N, c.37, 2009г.
- Казьмирук В.В., "Сканирующие электронные микроскопы МикроСкан серии МС20.", Известия РАН, сер. Физическая, V72, N11, c.1550, 2008г.
|
